Компания Advanced Diamond Technologies (ADT) представила новый ряд продуктов, предназначенных для производства микроэлектромеханических систем (MEMS). Напомним, фотолитографическая технология MEMS дает возможность изготавливать микросхемы с крошечными механическими элементами - интеллектуальные устройства (микромашины) с разнообразными функциями: от датчиков до кардиостимуляторов.
В линейку продуктов ADT вошли пластины Diamond on Insulator (DOI, «алмазы на изоляторе»), пополнившие ранее предложенную линию Diamond on Silicon (DoSi, «алмазы на кремнии»). Пластины изготавливаются вакуумным напылением слоя сверхчистого нанокристаллического алмаза (UNCD) на кремниевую основу.
Как утверждается, пластины UNCD DOI послужат платформой для проверки концепций новых приборов и разработки технологических процессов, которые откроют дорогу применению алмазных пленок в широком спектре приборов, включая MEMS и электронные чипы. По мнению компании ADT, разработка, выполненная ее специалистами, «наконец-то, делает алмаз материалом, пригодным для серийного производства различных полупроводниковых приборов».
